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임정은 (J. E. Lim) 논문수  · 이용수 269

소속기관
한국진공학회
소속부서
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주요 연구분야
자연과학 > 물리학
연구경력
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  • 저자정보 . 논문
  • 공저자 . 저널

저자의 연구 키워드

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#극자외선
#리소그래피
#플라스마집속
#EUV
#lithography
#Plasma focus

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