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공동저술논문수 : 1

임의수 (E. Lim) 논문수 · 이용수 2,065 · 피인용수 2

소속기관: 한국기계연구원

소속부서: 고효율에너지기계연구부

주요 연구분야: 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 공학 > 전기전자공학 > 전기공학 공학 > 전기전자공학 > 정보통신공학 공학 > 기계공학 > 자동차공학 공학 > 기타공학 > 안전공학

연구경력: -

저자정보 . 논문
공저자 . 저널

저자의 연구 키워드

저자의 연구 키워드: #Acoustic Pressure Distribution; #Acoustic Pressure Distribution (음압분포),Megasonic Transmitter (메가소닉 진동자); #Cleaning; #Cleaning (세정); #Cleaning Efficiency (세정효율); #Cooling (냉각); #Cooling(냉각); #Design of Experiments(실험계획법); #Far Field (원거리 음장); #Finite element method (유한요소해석); #Finite element method (FEM); #Finite Element Method (FEM) (유한요소해석); #Finite element method(FEM); #Finite Element Method(FEM) (유한요소해석); #Finite element method(FEM)(유한요소해석); #Finite Element Methods; #Flat Panel Display (FPD) (평판디스플레이); #Flat Panel Display(FPD)(평판디스플레이); #Hardness (경도); #Megasonic; #Megasonic (메가소닉); #Megasonic cleaning(메가소닉 세정); #Megasonic(메가소닉); #Midsonic (미드소닉); #Nano-particle cleaning (나노입자세정); #Nano-particle cleaning(나노입자세정); #Nano-pattern cleaning; #Nano-pattern cleaning(나노패턴 세정); #Nano-pattern cleaning(나노패턴세정); #Nano-surface Treatment (나노표면개질); #Optimal Design (최적설계); #Particle Removal Efficiency (PRE) (파티클 제거 효율); #Pattern damage(패턴손상); #Piezoceramic; #Piezoelectric actuator; #Piezoelectric Element (압전소자); #Piezoelectric element(압전소자); #Resonator(공명관); #Single Wafer Processing Type (매엽식); #Solar cell (태양전지); #Solar-cell wafer; #Sonoluminescence(음파발광); #Sound pressure distribution(음압분포); #Stack(스택); #Ultrasonic; #Ultrasonic (초음파); #Ultrasonic Waveguide (초음파 진동자); #Wave; #Wave Energy (파동에너지); #wave energy(파동에너지); #Waveguide

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