무전해 도금을 이용하여 AAO capacitor속 PDMS 확인 및 이에 따른 capacitance 예측

박정호; 권현준; 서수정

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 박정호 (Sungkyunkwan University) 권현준 (Sungkyunkwan University) 서수정 (Sungkyunkwan University)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2018년 한국진공학회 (제54회 동계정기학술대회 초록집)

발행연도: 2018.2

수록면: 147 - 147 (1page)

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#electroless plating #AAO Capacitor #PDMS

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